第一千三百六十九章 历史时刻

段云同样需要突破的还有光刻机技术，而这其中。

顶级的光源，高精度的镜头和精密仪器制作技术是euv光刻机三大核心技术，阿斯麦的光源来自收购的子公司cymer；镜头来自深度绑定的蔡司；精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。

其实从后世的芯片产业发展来看，国产光刻机在光源方面，以及光刻机对准台方面，都已经得到了重大突破，达到了国际先进水平，中国的极紫外光也是相当厉害的，所以光源和工作台并不是制约国产光刻机的最主要因素。

而真正制约国产光刻机发展的是光刻机的镜头镜片，阿斯麦能够成为光刻机领域的老大，其最核心的技术就是来自于蔡司的光学镜片。

德国蔡司是一家老牌光学厂商，早在1890年就开始生产相机镜头，这家公司在行业的影响力不仅仅是卖相机镜头，蔡司还从事高端光刻机高精度镜头制造，荷兰阿斯麦公司制造的光刻机基本上都是采用蔡司镜头。

早年的时候日本尼康佳能凭借很好的光学技术底子，也能生产出技术先进的光刻机，然而进入90年代之后，随着芯片制程技术的不断提高，尼康佳能都曾经尝试去做更高的光刻机镜头，但结果都失败了，只能放弃，在这个地球上，高精度的放大镜只有德国蔡司镜头可以生产。

光刻机对镜头的要求有多高，从他的技术构造上就可以看出来。

位于光刻机中心的镜头，有20多块锅底大的镜片串联组成，镜片必须是高纯度透光材料加高质量抛光，而这种镜面材质要做到均匀，至少需要几十年到上百年的技术积累。

同一个镜片，不同工人去打磨，光洁度相差10倍。

德国蔡司公司里抛光镜片的工人，祖孙三代在同一家公司的同一职位。

如果把阿斯麦光刻机的光学镜片表面比作一个德国领土的话，那么这上面的建筑物误差不能高于两厘米，由此可见，这种光学镜片的精度达到了令人匪夷所思的程度。

现在蔡司是被阿斯麦公司控股，段云想从蔡司公司获得高精度光刻机镜片是不可能的事情，他唯一能做的就是支持国产光学镜片的研发工作。

段云通过了解，得知这次入驻深圳科技园的国内光学企业共有三家，两家来自于北京，一家来自于上海。

这些光学研究所最早都是研究眼睛镜片的，无论从企业底蕴还是技术实力上来说，和蔡司，尼康，佳能等国际大厂差距非常大，有很多的技术瓶颈需要突破。

但好在80年代。光刻机的技术远没有后世2000年以后极紫外光刻机那么复杂，段云如果能够长期对这些企业保持资金投入的话，是有机会追赶这些国际大厂的。

而一旦光刻机的光学镜片得到突破，那么国产光刻机制造就已经突破了最大的技术瓶颈了，先进光刻机国产化将变成一个现实。

随着操作台一串灯光闪过，nand闪学芯片正式进入试生产阶段，在场的所有人都屏住了呼吸，段云的脸色也显得非常凝重。

两年来，段云一直在等待着这一天到来，如果nand芯片试生产成功，对他和整个国家芯片产业而言，都是历史性的一天，中国的芯片产业也将翻开新的篇章。

光刻机中传来嘶嘶的声响，只用了三分钟时间，第1片圆晶片就加工完成，通过传送带进入后续程序，成品一旦测试成功，就意味着整个世界上第1片nand芯片在中国诞生。

而此时的黄令仪已经有些抑制不住内心的激动，身子开始微微的颤抖起来。

当20片圆晶片全部加工完成之后，段云等人离开了c区，来到了位于a区的检测室。

“出来了，出来了！”眼见检测仪器的屏幕上出现了芯片的测试结果，蒋明炜激动的喊了起来。

“成品合格率是84%，所有芯片跑线情况良好，没有出现