第0393章 困难再多也不怕

汽车一路疾驰，很快就进了水木校园。

鹏城科技园还没有建成，徐端逸仍然在原来的办公室里，一见牧乔进屋，他便从办公桌后站起身来，笑呵呵地问道：

“你们谈得怎么样了？”

“不怎么样。”牧乔走到沙发上坐下，问道：

“徐叔，你和那个李院长到底是怎么回事？我看他对我不满得很。”

“你碰到他了？”徐端逸从办公桌前走了过来，有些诧异地问道。

“对啊，我去的时候，他就和那两个米国回来的人在一起呢，冷嘲热讽地把我说了一顿，害得我话都没说上两句就灰溜溜地走了。”

“这事情搞得……”徐端逸拿起热水瓶一人倒了一杯水，“其实我就是昨天晚上跟他聊天的时候听他说这件事，以为他已经放弃了。”

牧乔问道：“你和他是什么关系？”

“算是朋友吧。”顿了一顿，徐端逸又说道：“他老家是山城的，和我们算是半个老乡，有时间我们会在一起聊聊天，只不过没有什么深交。”

“这样啊。”牧乔摆了摆手，“算了，不说他了。”

“徐叔，光刻机项目组现在情况如何了？”

“人员还没到位，还没开始进入实质性的工作，不过，我和两位以前一起搞光刻机的同事这段时间来作了一些理论上的研究。

从理论上来说，如果采用193纳米光源，再将透镜和硅片之间的介质换成液体，确实是可以突破193纳米这个关卡的。”

“徐叔，这个事情一定要保密，要是被外国人知道，那咱们可就一点希望都没了！”

“放心，都是经过保密培训并签过保密协议的，知道其中的厉害性。”

牧乔再次强调的保密的重要性之后，又笑着说道：“理论没有问题，现在剩下的就是实践了。

。”

“话是这么说，要做起来可就难了。光源、镜头都是个大问题！”

徐端逸感叹了一句，“咱们的光刻机从1微米一下就跳到193纳米以下，是不是步子迈得太大了点？”

“步子再不迈大点，那咱们就永远都追不上别人了！”

牧乔站起身来，背着手在办公室里踱了几步，然后转过身来，看着徐端逸郑重地说道：

“发达国家攻关193纳米光源已经进行了20年，而我们却还没有启动193纳米arf光刻机项目！

徐叔，这是我们在光刻机上超越西方发达国家的唯一机会，哪怕付出再大的代价，我都不可能放弃它！”

“我知道，而且我也没有想过放弃，只是难度确实太大了点！”

徐端逸叹了口气，“技术积累不够，又缺乏科研人才，我心里实在是没什么把握啊。”

“arf光源还可以通过咱们的努力来解决，但光刻机的光学镜头，以目前国内的生产能力，是根本没有办法造得出来的。”cascoo.net

牧乔皱眉问道：“光学镜头重不重要？”

“当然重要了！掩膜版上的图案要完全复制到硅片上，就需要运用高数值孔径的镜头，而高素质孔径的镜头直接决定了光刻机的分辨率和套值误差能力。”

“光学镜头的问题不解决，就算有了光源解决方案，也不可能造得出193纳米以下的光刻机来！”

牧乔觉得，造光刻机还真是比造原子弹还难。

沉吟良久，他才问道：

“那国外的光刻机镜头是他们自己生产的吗？”

“不是，有专门的公司生产。”徐端逸快速地摇了摇头，“目前最厉害的是米国的卡尔蔡司公司。”

牧乔再次问道：“国内有没有生产光刻机镜头的厂家？”

“肯定有啊，要不然我们以

。前的光刻机镜头从哪儿来？而且，我们自己也有在进行光学攻关。

只不过光刻