第333章 第 333 章

两人刚走到走廊,遇到蓝书瑶，她正好要去拿单子，看到两人这动静,有点好奇，“哪儿去啊？”

“谭教授说EUV光刻机成功了，让我去见证一下。”

这可是花了14000亿的大项目，蓝书瑶当然也要见识一下,立刻道，“我也去！”

她不仅自己去，还叫了秦书勉,“他昨晚还跟我嘀咕，实验室那边没有EUV光刻机，55nm芯片生产不出来。现在好了，咱们自主研发成功了。”

他们到的时候,秦书勉已经到了。

江雨彤佩服得不成,“你的速度也太快了吧？”

秦书勉指了指北面，“我刚好过来这边谈项目，接到电话,就直接过来了。走！咱们快去看看。”

一行人到了科学院实验室门口，不是所有人都能进去。因为这个实验室是无尘车间，人是无尘车间最大的污染源，每天代谢脱落10亿个皮肤微粒，都会对机器产生影响，必须穿入场服隔离，无尘车间内的空气要比外面干净10倍。

江雨彤让蓝书瑶在外面等候，“以后有机会再看。”

蓝书瑶心里有些失望，但面上没有露出来,“没关系。你们去看也是一样的。”

谭恩林指了指隔壁，“那边有监控，高清镜头，可以看到一切。”

蓝书瑶眼睛一亮，“好，我去那边。”

江雨彤、谭恩林以及秦书勉三人换上整套入场服：头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套。

全副武装后，谭恩林带领两人进入无尘车间。

这里摆放着一个巨大的机器，它重达180吨，单台设备里超过100000个零件、40000个螺栓以及3000多条线路，软管加起来就有两公里长。

也难怪这样一个机器需要2000个工程师维修。

谭院士做实验给他们看。这一部相当于把沙子变成CPU。

谭院士将12寸晶圆上面涂抹了光刻胶，这样具有光敏感性，光刻机发出的光投射通过具有图形的光罩并对感兴硅圆曝光，晶圆上的光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上的图形复印到薄片上，从尔蚀刻出电路。

这个过程说起来很简单，实际上超级复杂。因为机器的精度控制需要极高的工艺水平，也许差了几nm就可能导致报废。

在谭院士操作的时候，江雨彤和秦书勉只在边上观看，并不说话。

等他操作完成后，经过光刻机这一步后，晶圆形成一个个小格，也就是晶粒。需要将它测试，合格的留下，不合格的舍弃。

接下来就是封装及再次测试，最后再包装。

当然这剩下的测试、封装和包装需要拿到别的实验室操作。

从无尘车间出来，谭院士将晶圆测试、封装、包装成芯片，让他们测试性能。

良品率达到95%，新机子，刚调过，这样的误差非常好。

江雨彤见秦书勉点头，她脸上再也控制不住笑起来，“那我们什么时候可以量产？”

“量产没问题，只是需要时间罢了。当初签好的合约，你们实验室优先生产权。但是你们需要送人才过来培训。这台机子每隔一段时间需要重新调试，售后是非常重要的。我们这边可以免费培养，到时候教他们组装机子。”

江雨彤指了指那个无尘车间，“那它？”

谭恩林摇头，“这个是实验品，不卖的。”

江雨彤头疼，“那什么时候还能再生产一台出来？”

“一台台生产太慢了。如果你们量产的话，最好一次性多生产几台。”谭院士想到一个关键问题，“你们的无尘车间建好了吗？”

秦书勉点头，“之前有一台EUV光刻机，您不是去用过吗？它的系统已经被M国关闭，不能用了，我们已经把机子还给了对方，无尘车间就空了下来。你们再建的话，就直接建在那车间吧？也省